匀胶旋涂全过程按基片转动速率及胶原纤维的转变，分好多个环节：滴胶，加快转动摊胶，均速转动匀胶及其去边，在其中第 3 环节均速转动环节是胶原纤维镀层薄厚和匀称性操纵的关键环节。
1.滴胶
在滴胶前，胶质需历经亚微米级別的过虑解决，不然塑料薄膜有将会产生彗星图，星状图，戒造成汽泡。滴胶环节是将胶质溶剂堆积在基片上管理中心部位的全过程。能够 手动式滴加，或用配置的全自动滴胶器滴加。一般说来，全自动滴胶方法由亍是全自动专业化实际操作，最后塑料薄膜的薄厚，匀称性，及可重复性都非常好，还可以降低容易挥发的毒副作用汽体不人体触碰。而手动式滴胶是人工服务实际操作，合适试验科学研究规定较高的塑料薄膜制取。滴胶全过程可选用静态数据滴胶或是动态性滴胶二种方法，静态数据滴胶是在基片转动以前就将胶质滴加堆积在基片管理中心，动态性滴胶则是基片一面以必须的速率转动（通常是500RPM），一面滴胶。假如胶质或基片是疏水溶性的，能够 挑选动态性滴胶法，另一个动态性滴胶法需要的滴胶量还可以略少。
2.摊胶-加快转动
一些胶质中的溶剂挥发物很强，假如基片沒有在短期内内平稳迅速的加快到设置的速率，胶质中的溶剂就会迅速蒸发，可能会导致胶质的黏性快速提高，进而危害对镀层薄厚的操纵。加快转动环节中基片以必须的瞬时速度转动，胶质溶剂刚开始向基片边沿外扩散，会有一部分胶质刚开始被甩出来基片，在加快原始环节，胶质要以必须的高宽比沉积在基片表层，胶质的底端与基片表层粘一起，一块儿转动。而胶质的顶层因为惯性作用，其转速比没法与基片同速，因而胶质产生螺旋形。随之胶质在向心力功效下不断向基片边沿外扩散，螺旋形慢慢消退，胶质变软为镀层，并遮盖基片表层，镀层基片转动速率彻底同歩。在基片的加快转动环节，转动速率高精的操纵，及其转动時间的精确设定十分关键。我觉得，不管胶质具备如何的特性，匀胶机都需具有高精，平稳的电机转动速率自动控制系统，那样才能够 制做薄厚匀称可控性的塑料薄膜。
3.旋涂去边
在均速转动环节中，胶质的粘性力和蒸发功效是危害塑料薄膜薄厚不匀称性的关键要素。胶质溶剂在加快转动至设置速率时，早已产生必须薄厚的镀层。在接下去的均速转动全过程中，因为胶体溶液的粘性力依然低于所遭受的向心力，镀层不断向基片边沿外扩散，基片边沿的胶质也持续的被甩出来，镀层薄厚慢慢减少。一起，因为镀层已遮盖全部基片表层，受基片上边迅速流动性的气旋危害，溶剂的蒸发速率加速，造成胶体溶液的粘性力也持续提升，刚开始产生无法流动性的胶状物。这时，胶质镀层所遭受的每个方位的力超过均衡，镀层的薄厚也超过最后情况。最终，在镀层塑料薄膜的边沿位置，胶质界面张力的功效，塑料薄膜边沿一部分的胶质无法被甩出来基片，会产生薄厚不匀称的层析，乃至会扩大至基片的反面，因而基片边沿必须历经去边解决。去边解决包含基片反面和反面的有机化学去边解决，及其基片反面的电子光学去边解决。
文章链接：仪器设备网 https://www.instrumentsinfo.com/technology/show-1214.html
首页
