根据原子（分子）质量的顺序进行排列的图谱，叫做质谱。通过微波吸收法、核感应法或者光谱法均能够使得试验验装置构成，从而进行质谱研究。历史上，质谱仪是以电磁学原理作为基础设计而成的仪器。由于这种仪器中采用的质量分析器仅可以对带电粒子起分离作用，因此将研究的原子（分子）转变成离子是基本要求，而离子的质量和电荷的比值就是仪器所获得的信息。这基本年以来，分析有机物结构、分离与分析同位素、测定原子量和其它科学实验都是利用质谱仪进行的，使质谱法形成，在现代分离、分析研究领域中，它占据的地位举足轻重。
用途：
同位素的组成在不同环境条件下会存在一定的不同点。例如不同的氮同位素组成能够为不同来源的含氮物质所具有。所以氮同位素作为一种污染物指示剂，非常的好，到目前为止，化肥非常普遍地得到shi用土壤中的氮肥及其它的含氮有机物随着水土的流失而流进江河湖海，所以水域环境污染程度能够用δ15N值作为指标。
基本测量过程：
赛默飞同位素质谱仪之所以常常被叫做气体同位素质谱仪，是因为一般在稳定同位素分析中都是以气体形式进行质谱分析，同位素质谱分析仪的测量过程能够归纳成如下几个步骤。
1、对离子束每一组分的强度进行记录并测定；
2、离子束强度通过对计算机程序的应用转化为同位素丰度；
3、比较待测样品与工作标准，使相对于国际标准的同位素获得；
4、通过气体形式往离子源中送入被分析的样品；
5、将被分析的元素转化为电荷为e的阳离子，离子束应用纵电场准直成为一定能量的平行离子束；
6、离子束通过电、磁分析器分解为不同m/e比值的组分。
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