ICP-MS全称是电感耦合等离子体质谱仪，它是一种将ICP技术和质谱结合在一起的分析仪器。ICP利用在电感线圈上施加的强大功率的高频射频信号在线圈内部形成高温等离子体，并通过气体的推动，保证了等离子体的平衡和持续电离，在ICP－MS中，ICP起到离子源的作用，高温的等离子体使大多数样品中的元素都电离出一个电子而形成了一价正离子。质谱是一个质量筛选和分析器，通过选择不同质核比（m/z）的离子通过来检测到某个离子的强度，进而分析计算出某种元素的强度。
质谱干扰包括同质异位素干扰、氧化物干扰、氢化物干扰、双电荷离子干扰、多原子离子干扰等。消除或减小质谱干扰的方法有：选择测定质量数、加干扰校正方程、基体分离、冷电等离子体技术、等离子体屏蔽技术、碰撞/反应池技术等；采用高分辨率质谱仪也能有效降低质谱干扰。
非质谱干扰主要是基体效应，分为物理效应和质量歧视效应（包括空间电荷效应和离子传输效率）。消除非质谱干扰的方法有：稀释法、基体匹配法、标准加入法、内标法、同位素稀释法、分离基体等。
PlasmaQuant MS ICP-MS 电感耦合等离子体质谱仪具有：获得稳定强劲的等离子体所消耗氩气量仅为常规仪器的一半；集成化的碰撞反应池系统，可高效、安全、快速、方便地消除干扰：3D聚焦离子反射镜获得的灵敏度；真正3MHz四极杆提供更好的质量分离效果；11个数量及的线性动态范围等特点。这些技术的采用让PlasmaQuant MS 电感耦合等离子体质谱仪在灵敏度、线性范围、检出限、稳定性等方面更上一个新台阶。其还可配备洁净室组件、样品导入系统、自动进样器等配件，可灵活、快速实现普通灵敏度模式和高灵敏度模式之间的切换，满足日常分析和研究级的各种应用。
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