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XRF即 X射线荧光光谱分析(X Ray Fluorescence)；不同元素发出的特征X射线能量和波长各不相同，因此通过对X射线的能量或者波长的测量即可知道它是何种元素发出的，进行元素的定性分析。同时样品受激发后发射某一元素的特征X射线强度跟这元素在样品中的含量有关，因此测出它的强度就能进行元素的定量分析。因此，X射线荧光光谱仪有两种基本类型：波长色散型（WDXRF）和能量色散型（EDXRF)。
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