单晶炉简介：
单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
单晶炉构成：
提拉头：主要由安装盘 减速机 籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管等其他部件组成
副室：主要是副室筒以及上下法兰组成
炉盖：副室连接法兰，翻板阀，观察窗 抽真空管道 组成
炉筒：包括取光孔
下炉筒：包括抽真空管道
底座机架：全铸铁机架和底座
坩埚下传动装置：主要由磁流体 电机 坩埚支撑轴 减速机 软波纹管 立柱 上下传动支撑架 导轨 等部件组成
分水器已经水路布置：包括分水器，进水水管，若干胶管 水管卡套等
氩气管道布置：质量流量计 3根以上的柔性管 不锈钢管 3个压力探测器 高密封性卡套 等部件
真空泵以及真空除尘装置：油压真空泵 水环真空泵 过滤器 真空管道 硬波纹管等
电源以及电控柜：电源柜 滤波柜 控制柜 以及连接线
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