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单晶炉常见应急事故处理方法及注意事项

2021.4.16
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coco5517

认真做好每一件喜欢的事,把每一件要做的事都变成喜欢并认真去做的事

  (一)停水

  1)发生停水或水压报警时,先确认水压表是否偏低,水管和炉筒温度是否明显升高。

  a、快速提升晶体或籽晶,使晶体或籽晶脱离液面150MM。

  b、关闭加热功率。

  c、复位控制柜面板上单晶生长控制器,使其处于手动状态。

  d、降低埚位到熔料埚位。

  e、关闭埚转。

  2)停水后水压恢复

  a、冷却水恢复供应时,监控水压,有异常立即报告管理人员。

  b、水压恢复时,炉内无严重氧化现象,熔体未结晶或已结晶但液面结晶小于10分钟且石英坩埚未破裂,按加热功率开,调节功率到熔料功率。

  c、启动埚转,设定为2转/分。

  d、熔化结晶面,在此期间应密切炉内有无严重氧化现象,注意硅料液面熔化情况,一旦发生严重氧化现象、硅液面下降,立即停炉并上报管理人员。

  e、待结晶全熔后,手动调节功率为引晶功率温度稳定后,开始引晶。

  3)停水后水压无法恢复,或恢复时熔体已结晶大于10分钟。

  a、在熔体结晶15分钟时,快速提升坩埚,使坩埚顶起导流筒100mm。

  b、停炉,充分冷却后拆炉

  (二)停电

  1)若炉子工作时,加热部分停电。

  a、复位控制柜面板上单晶生长控制器,使其处于手动状态。

  b、降低埚位到熔料埚位。

  c、关闭埚转。

  d、加热部分恢复时,若时间较短,按加热功率开,将功率升至熔料功率。

  e、启动埚转,设定为2转/分。

  f、熔化结晶面,在此期间应密切炉内有无严重氧化现象,注意硅料液面熔化情况,一旦发生严重氧化现象、硅液面下降,立即停炉并上报管理人员。

  g、待结晶全熔后,手动调节功率为引晶功率温度稳定后,开始引晶。

  h、加热部分恢复时,若停电时间较长,快速提升晶体或籽晶,使晶体或籽晶脱离液面150mm。

  r、在熔体结晶15分钟时,快速提升坩埚,使坩埚顶起导流筒100mm。

  j、停炉,充分冷却后拆炉

  2)若炉子工作时,加热电源、控制电源同时断电。

  a、立即关闭抽空阀门。

  b、手动摇手柄降低埚位使晶棒与硅液脱离。

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