按照清洗方式的不同,清洗设备可分为两种,分别是单片式和槽式。
一、单片式清洗机是由几个清洗腔体组成,再通过机械手将每一片晶圆送至各个腔体中进行单独的喷淋式清洗,清洗效果较好,避免了交叉污染和前批次污染后批次,但缺点是清洗效率较低,成本偏高。
二、槽式清洗机是将晶圆放在花篮中,再利用机械手依次将其通过不同的化学试剂槽进行清洗,槽内装有酸碱等化学液,一次可以同时清洗一个花篮(25 片)或两个花篮( 50 片晶圆),此类清洗机清洗效率较高、成本较低,缺点是清洗的晶圆之间会存在交叉污染和前批次污染后批次。槽式清洗机主要由耐腐蚀机架、 酸槽、 水槽、 干燥槽、 控制单元、 排风单元以及气体和液体管路单元等几大部分构成。