石英晶体微天平(QCM)作为一种新型的高精度测量工具,具有结构简单,成本低,测量精度高,可以实时在线地测量等一系列优点.本文在调研大量的参考文献的基础上,对QCM的工作原理从理论上进行了探索.在进行理论分析时,着重于分析独立的平面型QCM的工作原理,以石英谐振器的等效电路为基础,通过详细计算得出谐振器的四个典型的频率点,这些频率点是电路的测量目标.在独立平面型QCM的基础上,对目前新出现的QCM阵列和加槽型QCM的测量原理进行了介绍.在进行充分的理论分析之后,研制了一台QCM仪器并对其进行了实测验证.根据测试结果,给出了在后续工作中如何改进实验仪器的建议.
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