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气体流量传感器的系统结构包括键盘、微处理器、LCM、驱动电路板、线性步进电机、机械装置。其中键盘主要用于温度设置、气压设置、传感器操作和参数设置；LCM用于显示一些重要的信息或者参数；微处理器是传感器的控制中心；驱动电路板是步进电机与微处理器之间的接口电路；线性步进电机用于控制机械装置中空隙，控制气体的流速；机械装置时传感器的执行单元，机械装置很特别，要求相当高。流量传感器内部含有一块独特的硅芯片，芯片包含薄膜电路，发热及热敏感元件的热隔离桥电路。
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