薄膜氧电极最早由L.C.Clark研制（1953），故亦称Clark氧电极。 [2] 氧电极实际上是一个电化学电池，由镶嵌在绝缘材料上的银极和铂极构成。银极为阳极，一般制成圆环状，作为参比电极，银极的面积要尽可能大一些，以降低电极表面电流密度，减少阳极的极化现象，使其电极电位不受外加电压的影响。铂极为阴极，一般制成圆点状，位于银极的中央，电解反应即发生在铂极上。
在电极的表面用15~20μm的聚乙烯或聚四氟乙烯薄膜覆盖，在电极与薄膜之间充以氯化钾溶液作为电解质。由于水中溶解氧能透过薄膜而电解质不能透过，因而排除了被测溶液中各种离子电解反应的干扰，成为测定溶解氧的专用性电极。
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