X射线荧光光谱仪具有重现性好，测量速度快，灵敏度高的特点。样品可以是固体、粉末、熔融片，液体等，分析对象适用于炼钢、有色金属、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行业样品。无标半定量方法可以对各种形状样品定性分析，并能给出半定量结果，结果准确度对某些样品可以接近定量水平，分析时间短。
X射线荧光光谱仪的构造：
主要由以下几部分组成：
（1）激发系统：主要部件为X射线管，可以发出原级X射线（一次X射线），用于照射样品激发荧光X射线；
（2）分光系统：对来自样品待测元素发出的特征荧光X射线进行分辨（主要为分光晶体）；
（3）探测系统：对样品待测元素的特征荧光X射线进行强度探测；
（4）仪器控制和数据处理系统：处理探测器信号，给出分析结果。
X射线荧光光谱仪的测试步骤：
（1）选择分析方法与制样方法。分析方法一般有基本参数法、半基本参数法、经验系数法等，制样方法一般有抛光法、压片法、滤纸片法和熔片法，常用粉末压片法制样，采用基本参数法测试。
（2）将制备好的样片装进样品杯，放入样品交换器中，自动进样至样品室，X射线管发出原级X射线照射样品，激发出待测元素的荧光X射线。
（3）样品辐射出的荧光X射线通过分光晶体，将X射线荧光光谱色散成孤立的单色分析线，由探测器测量各谱线的强度，根据选用的分析方法换算成元素浓度，得到样品中待测元素含量。
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