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产生的机理不同，特征X射线是由电子撞击金属靶，使金属原子中的K层L层M层等等层的核外电子被激发形成空位，外层电子跃入该空位，多余的能量产生X射线，荧光X射线则是由X射线或其他电磁波照射原子使原子核外电子激发形成空位，外层电子跃入空位产生X射线，二者都可以表示元素种类，但是产生一个是由电子引起，一个是由电磁波引起
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