俄歇电子能谱分析是通过检测试样表面受电子或X射线激发后射出的俄歇电子的能量分布来进行表面分析的方法，写作AES。是电子能谱分析技术之一。其原理是：用具有一定能量的电子束或X射线激发试样，使表面原子内层能级产生空穴，原子外层电子向内层跃迁过程中释放的能量又使该原子核外的另一电子受激成为自由电子，该电子称为俄歇电子，其能量与激发源能量无关并带有特征性。用能量分析器(常用静电型）检测这些电子的能量分布，得到以其动能为横坐标，电子计数率（或一阶导数）为纵坐标的俄歇电子能谱图。它可以检测除氢和氦以外的所有元素，更适于轻元素的定性定量分析；根据谱峰位置与峰形可推测表面原子的种类和化学状态；探测深度小于2nm。若入射电子束沿试样表面扫描可进行二维表面元素分析；结合离子溅射剥蚀，可研究试样沿深度方向的成分变化，获得三维的元素分布信息。
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