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冷阴极电离规真空计的简介

2021.6.25
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coco5517

认真做好每一件喜欢的事,把每一件要做的事都变成喜欢并认真去做的事

  如图所示,冷阴极电离规也是通过电离气体分子收集离子电流的方法进行气压测量,但与热阴极电离规不同的是,它是利用磁控放电电离气体分子产生离子。

  这种规的测量范围一般为1.0E-07Pa至0.1Pa。

  与热阴极电离规同样的原因,这种规在使用时需要在不同气体下标定。

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