一般先校准零点，再进行满度校准。
(1)校准零点。校准零点需对被测真空系统抽真空，一旦电离规测得真空度高于1.0^-1Pa(如9.9 X10^-2Pa)，按“校零”按钮，对应指示灯亮或快速闪烁，真空计自动校正零点，当显示1.0^-1Pa时，表示规管零点已校准。对于无自动零点校准的电阻真空计，可通过操作面板上的电位器旋钮手动调整。
(2)满度校正。校准完零点后，需对其满度校正。按满度校正过程要求，对被测炉腔放人大气，确保被校电阻规所测位置为大气状态，在大气压下工作约10分钟。按“满度”按钮，对应指示灯亮或快速闪烁，真空计自动校正满度，当显示1.0^5 Pa时，表示规管满度已校准。对于无自动满度校准的电阻真空计，可通过操作面板上的电位器旋钮手动调整。
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