属弹性元件真空计,弹性薄膜将规管真空室分为两个小室,即参考压强室和测量室。测量低压强 (P<100帕)时,参考室抽至高真空,其压强近似为零。当测量室压强不同时,薄膜变形的程度也不同。在测量室中有一固定电极,它与薄膜形成一个电容器。薄膜变形时电容值相应改变,通过电容电桥可测量电容的变化从而确定相应压强值。为了防止薄膜发生蠕变,通常采用零位法测量,即在固定电极和薄膜之间加一直流电压,利用静电力补偿薄膜受压强差而产生的应力,使膜片保持零位。电容薄膜真空计可直接测量气体或蒸气的压强,测量值与气体种类无关、结构牢固、可经受烘烤,如对不同压强范围采用不同规头,可得到较高精度。电容薄膜真空计可用于高纯气体监测、低真空精密测量和压强控制,也可用作低真空测量的副标准。