薄膜检测技术指标
测试范围:0.01~6500 cm3/m2·d(常规)
0.07~65,000 cm3/m2·d(可选)
试样数量:1~3件(数据各自独立)
分辨率:0.001 cm3/m2·d
试验温度:15℃~55℃(常规)
控温精度:±0.1℃(常规)
试验湿度:0%RH、35%RH~90%RH、100%RH
控湿精度:±1%RH
试验气体:O2、空气等(气源用户自备)
测试面积:50 cm2
试样厚度:≤3 mm (其他厚度要求可定做)
试样尺寸:108 mm x 108 mm
载气:99.999%高纯氮气或含氢2%的氮气(气源用户自备)
气源压力:≥0.28MPa
接口尺寸:1/8英寸金属管
外形尺寸:690mm(L)×350mm(W)×360mm(H)
电源:AC (85~264)V (47~63)Hz
净重:70kg