主要用途： XPS： 1.固体样品的表面组成分析，化学 状态分析，取样深度为～3nm 2.元素成分的 深度分析（角分辨方式和氩离子刻蚀方式） 3.可进行样品的 原位处理 AES： 1.可进行样品表面的微区选点分析（包括点分析，线分析和面分析） 2.可进行深度分析适合： 纳米薄膜材料， 微电子材料，催化剂， 摩擦化学， 高分子材料的表面和界面研究
仪器类别： 03030707 /仪器仪表 /成份分析仪器
指标信息： 主真空室：1×1010乇 XPS： AES: 分辨率：0.8cV 电子枪束斑：75nm 灵敏度：80KCPS 信噪比：大于70:1 角分辨：5°～90° 灵敏度：255KCPS A1/Mg双阳极靶 能量分辨率：0.3% 位置灵敏检测器（PSD）
附件信息： XPS： 1.快速氩离子刻蚀枪 AES： 1.快速氩离子刻蚀枪 2.能量损失谱 ,
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