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X射线光电子能谱仪(XPS)的发展

2022.2.02
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xujinping

致力于为分析测试行业奉献终身

　　X射线光电子能谱（XPS）也被称作化学分析电子能谱（ESCA）。该方法首先是在六十年代由瑞典科学家K.Siebabn 教授发展起来的。这种能谱最初是被用来进行化学元素的定性分析，现在已发展为表面元素定性、半定量分析及元素化学价态分析的重要手段。此外，配合离子束剥离技术和变角XPS技术，还可以进行薄膜材料的深度分析和界面分析。

　　因此，XPS方法可广泛应用于化学化工，材料，机械，电子材料等领域。

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