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能谱分析仪(EDS,Energy Dispersive Spectrometer)是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。各种元素具有自己的X射线特征波长，特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量△E，能谱分析仪就是利用不同元素X射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。探头：一般为Si(Li)锂硅半导体探头探测面积：几平方毫米分辨率（MnKa）：～133eV探测元素范围：Be4～U92
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