分析测试百科网

搜索

喜欢作者

微信支付微信支付
×

光刻机的分类

2021.9.01
头像

coco5517

认真做好每一件喜欢的事,把每一件要做的事都变成喜欢并认真去做的事

  光刻机一般根据操作的简便性分为三种,手动、半自动、全自动

  A 手动:指的是对准的调节方式,是通过手调旋钮改变它的X轴,Y轴和thita角度来完成对准,对准精度可想而知不高了;

  B 半自动:指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐;

  C 自动: 指的是 从基板的上载下载,曝光时长和循环都是通过程序控制,自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要。

网络
仪器推荐
文章推荐