高低温真空微波探针台是一种用于电子与通信技术领域的工艺试验仪器，于2016年10月16日启用。
技术指标
1、六个探针臂接口，可以安装六个探针臂。2、一个CF40 真空抽气口，一个快速破真空进气口。3、载物Chuck 温度范围：4K-500K ；CF法兰接口，系统极限真空优于5*10-6Pa。4、漏率优于：1.3*10-10Pa.M3/s；探针X-Y-Z三方向移动，行程：25.4mm，定位精度：10μm。5、双屏蔽chuck高低温时达到100FA 的测试精度。
主要功能
能够实现样品在低温真空环境的测试，实现样品在10-4 PA 真空度，4.2K 到480K 任意温度点的精确电学测量，可实现直流和微波（40GHz）的测量。
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