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扫描电镜束流小,电子探针能谱分析结果比扫描电镜能谱精确一个数量级,电子探针元素面扫描可以用能谱,也可以用波谱,一般对轻元素(C以下),波谱较准确,相对来说波谱扫描时间较长,一般定性及半定量基本用能谱。