能量色散 X 射线荧光 (EDXRF) 是用于元素分析应用的两种通用型 X 射线荧光技术之一。在 EDXRF 光谱仪中，样品中的所有元素都被同时激发，而能量色散检测仪与多通道分析仪相结合，用于同时收集从样品发射的荧光辐射，然后区分来自各个样品元素的特性辐射的不同能量。EDXRF 系统的分辨率取决于检测仪，通常范围为 150 eV -600 eV。EDXRF 系统的主要优点是简单、快速、无运动部件和较高的源效率。
X 射线光学晶体可用于增强 EDXRF 仪器。对于常规 XRF 仪器，样品表面典型焦斑尺寸的直径范围从几百微米到几毫米不等。多毛细管聚焦光学晶体从发散 X 射线源收集 X 射线，并将它们引导至样品表面上形成直径小到几十微米的小聚焦光束。由此增加的强度以小焦斑传递到样品，可增强用于小特性分析的空间分辨率和用于微 EDXRF 应用的微量元素测量性能。
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