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ICP光源的组成

2021.10.12

zhaoqisun

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ICP光源的组成

　　ICP光源由高频电源和ICP炬管构成。

ICP炬管由三个同心石英管和管外上部环绕的高频感应圈组成（一般为2~4圈空心铜管），存在三个进气管。

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