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激光尘埃粒子计数器的采样流量一般为2.83L/min或28.3L/min,进口仪器常标识为0.1cfm(立方英尺每分钟)或1cfm,主要是为了便于进行符合Fed-Std-209E的洁净度的计算。大流量的采样(28.3L/min)更能准确地反映空气的洁净状况,但使最大采样浓度降低。