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气体分析质谱仪也属于质谱仪的一种，主要是根据气体样品进行质谱分析。进样气体以1sccm的流量进入毛细管，泵组在抽气时使得进气孔前端的压力在1mbar左右，而在靠近离子源端的压力大约维持在1e-04mbar。这样就使得很少量的样气进入到离子源，然后这些样气就会被高温的灯丝离子化。
离子化的带正电的离子被四级杆萃取，通过检测器测量到离子的质量数，从而辨别出被检物质。
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