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高分辨透射电镜(HTEM)能够完成这样的要求。
其一如楼上所说,电子非常短的德布罗意波长给予TEM非常高的分辨率,0.1-0.2nm的小于原子之间的距离。其二是透射电镜类似于X光,重元素会更多的吸收入射的电子,在投影仪上留下一个暗斑,晶体缺陷导致原子位置的错位,可以在照片上看到它的影响。
下面是一张HTEM的图片,很明显,如果带有晶体缺陷,在图片里必然能看到不同的原子阵列。譬如图片中间黑暗部分所示的情况: