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透射电镜成像原理

2022.1.04
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透射电镜构造原理
透射电镜一般是电子光学系统、真空系统和电源与控制系统三大部分组成。电子光学系统通常称为镜筒,是透射电子显微镜的核心,它又可以分为照明系统、成像系统和观察记录系统。
下图是电镜电子光学系统的示意图,其中左边是电镜的剖面图,右边是电镜的示意图和光学显微镜的示意图对比。由图中可以看出,电镜中的电子光学系统主要包括电子枪、聚光镜、试样台、物镜、物镜光阑、选区光阑、中间镜、投影镜和观察记录系统等几部分组成,其成像的光路与光学显微镜基本相同。

电镜的电子光学系统中,一般将电子枪和聚光镜归为照明系统,将物镜、中间镜和投影镜归为成像系统,而观察记录系统则一般是荧光屏和照相机,现在的电镜往往还配有慢扫描CCD相机,主要用来记录高分辨像和一般的电子显微像。

透射电镜的成像机理

电镜和光镜的光路形式相似,但成像原理不同,在光镜中,由于样品各部分对光的吸收不同形成明暗不同的区域,反映出的图像就是样品对光的吸收情况。但在电镜中显示的样品极小,如吸收达到可观察的程度,将会引起样品的漂移和损害,因此,要力求使吸收减小到最低程度,故电镜样品要求切得很薄,在如此薄的样品中,电子不考虑被吸收。

一、透射电镜的成像原理

透射电镜的电子束射向样品,在通过样品的过程中和样品发生作用,穿出样品已带有样品信息,然后再进行放大处理,在荧光屏上显示出物质结构。

电子束穿出样品时,除了构成了图像背景的主要成分以外,还受到质量厚度影响,产 生不同散射角度的弹性散射电子。样品质量密度高的区域,产生大角度的散射电子(大于 0. 1弧度)被物镜光阑遮挡,仅有小角度的散射电子通过光阑孔,以致这部分电流密度小,在荧光屏上呈现出电子致密的暗区;相反,在质量密度低的区域,大角度散射电子少,透过的电子较多,故可呈现为电子透明的亮区。这样,即可形成一个具有明暗反差对比的、容易辨认的电镜图像。因此,电镜图像的反差是由样品不同部位电子散射力的差异所决定的,也反映了样品不同部位电子密度的差异。

二、透射电镜成像的有关概念

(1) 弹性散射:快速入射电子和样品的原子核碰撞,使电子偏离很大的角度,其轨道有明显的偏斜,称为弹性散射。

(2) 非弹性散射:快速入射电子和样品绕核运动的慢速电子相碰撞,重新分配它们的速度,这种相互作用称为“非弹性散射”。由于样品中的电子远比核的数量重要,因此在透射电镜成像过程中,非弹性散射是影响图像反差的最重要因素。

三、成像形式

当电子束通过后,把样品上质量厚度不同部分的电子密度投影到荧光屏上后,产生了明暗不同的区域,就形成了我们需要的图像。

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