透射电镜原位摩擦测试仪的技术指标

　　透射电镜原位摩擦测试仪是一种用于物理学、材料科学领域的物理性能测试仪器，于2017年6月21日启用。

　　技术指标

　　1. 仪器能同时同步提供原位纳米力学材料测试结果和透射电子显微中材料变形的观察，并能准确提供定量的载荷/摩擦力和位移的数据。

　　2. 纵向载荷：最大施加纵向载荷: 1.5 mN；纵向载荷分辨率:<8 nN；纵向载荷噪音背景: <200 nN。

　　3. 纵向位移：最大纵向压入深度: 5 μm；纵向位移分辨率:<0.02 nm；纵向位移噪音背景: <1 nm。

　　4. 切向载荷：最大施加切向载荷：0.5 mN；切向载荷分辨率：<20 nN；切向载荷噪音背景：<500 nN。

　　5. 切向位移：最大切向位移距离：10μm；纵向位移分辨率:<0.1 nm；纵向位移噪音背景: <1.5 nm。

　　6. 压电陶瓷驱动的平移平台：X-Y可移动范围:50 μm； X-Y灵敏度: 2 nm；Z可移动范围: 3μm；Z灵敏度: 0.1nm。

　　7. 手动定位：X-Y可移动范围: 750 μm；Z可移动范围: 5000 μm。