射频辉光放电质谱仪是一种用于材料科学领域的分析仪器，于2015年6月17日启用。
技术指标
可测元素：元素周期表中除氢（H）外的所有元素，包括常用分析方法难以测定的C、N、O、P、S等轻元素 最低检出限：优于100ppt； 分辨率：优于4000； 分析速度：快速，一次可给出多量、少量、痕量及超痕量多元素分析结果 精密度：高。
主要功能
固体样品直接分析，是固体材料多元素分析尤其是高纯材料分析强有力的工具。另外，该仪器配有射频源(rf)，可实现非导体样品(晶体、陶瓷等)直接分析；同时，depth-profile功能可对杂质元素进行深度剖析。
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