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X射线管产生的初级X射线照射到平整均匀的颗粒物表面时,样品所含待测元素原子受到激发后发射出特征X射线,经探测器接收后,将其光信号转变为模拟电信号,经过模数变换器将模拟电信号转换为数字信号并送入计算机进行处理,通过专用软件获取元素特征X射线强度,根据元素特征谱峰强度与含量的相应数学模型计算待测元素含量。