电容式传感器是将被测非电量的变化转化为电量变化的一种传感器。它具有结构简单、分辨力高、可非接触测量 , 并能在高温、辐射和强烈震动等恶劣条件下工作的优点。随着集成电路技术和计算机技术的发展 , 促使它扬长避短成为一种很有发展前途的传感器。
电容式传感器的形式有很多种。最简单的就是平板型电容器 , 忽略边缘效应影响时 , 其电容量与真空介电常数ε0 (80 854 ×10 -12 F ·m -1) 、极板间介质的相对介电常数εr 、极板的有效面积 A 以及两极板间的距离δ有关 , 即C = ε0εr A / δ.
若被测量的变化使式中三个参量中任意一个发生变化时 , 都会引起电容量的变化 , 通过测量电路就可转换为电量输出。因此 , 电容式传感器可分为变极距型、变面积型和变介质型三种类型
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