按照样品状态，进样方式可分为三大类：液体进样、固体进样、气体进样。每一类进样方式中又有许多结构、方法、方式不同的装置。
（1）液体进样装置 将液体雾化，以气溶胶的形式送进等离子体焰炬中。
气动雾化器：包括不同类型同心雾化器、垂直交叉雾化器、高盐量的 Babington式雾化器。
超声波雾化器：包括去溶的超声波雾化器和不去溶的超声波雾化器。
高压雾化器：这种雾化器比通常的雾化装置能承受更高的气体压力。
微量雾化器：包括进样量少的雾化器和循环雾化器。
耐氢氟酸的雾化器：由特殊材料制作（例如铂、铑或聚四氟乙烯等），不易被氢氟酸腐蚀。
（2）固体进样装置将固体试样直接气化，以固态微粒的形式送进等离子体焰炬中。
火花烧蚀进样器：采用火花放电将样品直接烧蚀产生的气溶胶引入ICP焰炬中。
激光烧蚀进样器：采用激光直接照射在试样上，使产生的气溶胶引入ICP焰炬中，包括激光微区烧蚀进样。
电加热法进样器：可进液体样品与胶状物样品，类似于AA石墨炉进样装置方式、银片电加热进样装置。
悬浮液进样器:可将具有悬浮物的液体试样引入ICP火焰。
插入式进样:石墨杯（Horlick 式）进样装置见后面介绍。
（3）气体进样装置 将气态样品直接送进等离子体焰炬中。
除了气体直接进样装置外，通过氢化物发生装置，将生成气态氢化物送进等离子体焰炬中，也属气体进样方式。
总之，进样装置种类繁多，它的性能对ICP发射光谱仪分析性能有很大的影响。仪器的检出限、测量精度、灵敏度均与进样装置的性能有直接关系。
长期以来，进样装置一直是ICP发射光谱技术研究的一个热点。当前ICP发射光谱分析主要以溶液进样应用最为广泛，对于溶液样品，它是将溶液引入，使其成为气溶胶进入ICP火焰中，并使之蒸发、原子化、激发，得到需要的原子发射光谱谱线。这一进样系统是由炬管、雾化器、雾室三部分组成，由于篇幅所限，这里只介绍经常使用的几种进样装置。
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