可能的原因1：供应商提供的氩气纯度不够或管道漏气
解决办法及建议：ICP点火最好使用纯度大于99.995%的高纯氩，由于国内氩气供应商只标识99.99%的纯氩及99.999%的高纯氩，因此，推荐客户使用99.999%的高纯氩。并选择可靠的供应商。另外，每次使用氩气务必不能全部使用完，因为如果使用完后，会有空气混入钢瓶，不负责任供应商，不用高纯氩冲洗钢瓶就直接罐装，则会导致标识为99.999的高纯氩实际纯度不够。因此，为了保证大家都能上符合要求的氩气，我们建议当氩气使用到还有1.5MPa左右时考虑更换。
此外，ICP点火前，仪器会用氩气对进样系统进行吹扫，以排除进样系统内的空气，然后在氩气的氛围内点火。如果氩气管路漏气，则会混入空气，则相当于使用了纯度不够的氩气，导致点火困难。因此，定期检查管道各接头是否有漏气是必须的。
值得一提的是，使用不纯的氩气对仪器RF PCB的损害也是相当大的，由于氩气纯度不够，RF功率板会尝试增加功率来点火，当然，仪器会有自我保护，不会一味的增加点火功率，但使仪器常期在超负荷的情况下工作，必然会缩短其工作寿命。当RFPCB烧毁后，点不着火是必然的。
可能的原因2：气体管路太长导致不能维持点火所需的气流量及稳定性。
解决办法及建议：仪器点火时，需要给其提供一个稳定且足够流量氩气流(这个流量是软件设定好的，必须满足)。因此气体管道不宜太长，过长的气体管路会有明显的压降，因此钢瓶端的分压可以适当的调高些，并尽可能在仪器附近再安装一个量程合适并质量好的减压阀，以保证提供给仪器稳定的气流量。
可能的原因3：冷却循环水不达要求。
解决办法及建议：客户可能很难想到因冷却循环水的原因点不着火，具体解释
（1）冷却水流量不足导致无法点火，如果客户不定期更换冷却循环水或使用水质不达标，则容易在水箱及水管表面滋生藻类和细菌，当达到一定量时，会堵塞管路，从而降低水流量，影响制冷效果，进而影响RF线圈及RFPCB板的寿命。因此定期更换冷却循环水，清洗水箱及水过滤器(如配置)，并加入专用的抑菌剂是非常重要的维护项目，建议不加抑菌剂的情况下每月更换循环水或使用抑菌剂的情况下每季度更换循环水。另一种冷却循环水流量不足的原因是水压设置不当，工程师安装时会调试好水循环的水压，这时客户最好记录下正常使用时水压设置(包括点火前及点火后)，以作参考对比。
（2）尽量使用纯净水或去离子水。由于一般水质含有较高的Na，K，Cl等无机离子，这些离子会提高循环水的电导率。电导率较高的水相当于一个电解池，对铜线圈有很大的腐蚀，同时影响RF频率的耦合效果，导致点火困难，更有甚者，线圈和RFPCB的被蚀穿而漏水，出现烧炬管和烧毁RFPCB的后果。
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