电感耦合等离子体发射光谱仪校正的目的是消除环境温度造成的光学系统漂移与机械震动造成的机械位移。通常，在仪器安装调试过程中首先要进行光学系统校正；在仪器正常使用过程中根据环境温度的条件适当进行光学系统校正。 在电感耦合等离子体发射光谱仪仪器中，由于仪器本身有恒温系统，操作人员只要控制仪器达到恒温条件，即可正常进行分析测量，无须频繁校正光学系统。
一、 光学系统校正
在仪器中，操作软件自动控制仪器每30分钟快速校正、每2小时完全校正光学系统。如果实验室环境温度变化较大，不能保证工作条件，可能造成测量结果数据漂移。
光学系统校正使用汞灯，选择Hg8线（波长253.652nm），仪器内部装有汞灯，只要按照操作规程操作即可。
二、 等离子体位置校正
等离子体位置校正的目的是将光源对准光学系统。通常在重新装配进样系统后，点燃等离子体，用Mn溶液（10ug/mL）校正。
在等离子体位置校正过程中，值得注意的是：确保选中Mn 257.610波长、Mn溶液能够正常进入雾化器并形成气溶胶进入等离子体。如果上述条件没有满足，可能造成校正失败。
三、 波长校正
在使用任何一个元素、任何一个波长进行分析测量之前，都要做波长校正。波长校正的目的是：对事先存储在谱线库中的理论波长坐标位置进行修正、保证实际使用的波长坐标位置准确。
仪器安装调试以后，波长校正不需要经常做。如果实验室温度变化较大，应适当进行波长校正。
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