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edx:energydispersivex-rayfluoresencespectrometer能量色散x射线荧光光谱仪eds:energydispersivespectrometer能量色散谱仪edx是荧光分析,eds是能谱分析,后者不是x射线能谱仪,如果想准确定量,可以考虑化学分析,xps,或者俄歇分析(aes),xps和aes对表面含量较为适合。要看你应用在哪一方面.如做表面元素分析的话建义你有eds或xps.