1 X射线能谱仪的工作原理
当电子枪发射的高能电子束进入样品后，与样品原子相互作用，原子内壳层电子被电离后，由较外层电子向内壳层跃迁产生具有特定能量的电磁辐射光子，即特征X射线。X射线能谱仪就是通过探测样品产生的特征X射线能量来确定其相对应的元素，并对其进行相应的定性、定量分析。
2 扫描电镜中X射线能谱仪的应用
微区分析中，扫描电镜结合X射线能谱仪是微区形貌观察和成分分析最常用的手段。能谱仪在不损坏试样的情况下，可对样品成分进行定性、定量分析，且分析速度快，灵敏度高，在材料科学、生物培养、医学手术、地矿勘探等各个领域被广泛应用。
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