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X射线荧光测厚仪的原理和技术指标

2022.2.20
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coco5517

认真做好每一件喜欢的事,把每一件要做的事都变成喜欢并认真去做的事

  原理

  当原子受到原级X射线或其他微观粒子的激发使原子内层电子电离而出现空位,原子内层电子重新配位,较外层的电子跃迁到内层空位,并同时放出次级X射线,即X射线荧光。X射线荧光的波长对不同元素是特征的,因此可以根据元素X射线荧光特征波长对元素做定性分析,根据元素释放出来的荧光强度,来进行定量分析如元素厚度或含量分析。

  技术指标

  可测元素范围:钛Ti~铀U;可测多层膜厚:最多6层;成分分析;可同时分析30种元素。

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