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小型的离子溅射仪分为低真空离子溅射和高真空离子溅射,根据原理又分为高电压直流、低电压磁控和离子束三种原理,目前市面上的离子溅射大部分是可以满足您的需求,你可以查看上海禾早生产的离子溅射仪。