仪器的组成
1、 扫描电镜的组成
扫描电子显微镜由电子光学系统、信号检测和放大系统、扫描系统、图像显示和记录系统、电源系统和真空—冷却水系统组成。
2、 X射线能谱仪的仪器结构 X射线能谱仪由半导体探测器、前置放大器、主放大器、脉冲堆积排除器、模拟识数字转换器、多道分析器、计算机以及显示器和打印机等组成。
仪器设备
1、 扫描电镜：JSM-5610LV （分辨率：3.5纳米）
2 、 X射线能谱仪： Phoenix （分辨率：129ev）
3、 喷镀仪：JFC-1600型和IB-3型离子溅射仪，JEE-420真空喷镀仪
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