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XRD峰值向左偏移通常是指向小角度偏移，意味着晶格常数变大，常见是掺入了比主体原子半径大的杂原子。如果不是全谱所有峰都发生位移而只是少数或个别高角度衍射峰发生位移，则不是掺杂原子引起晶格常数变化所致，很可能是存在宏观残余应力引起晶格畸变的反映。宏观残余应力可能引起晶格各向异性收缩，对某些衍射为压应力时衍射峰向高角度发生位移，反之为拉应力时衍射峰向低角度发生位移。总之，掺杂、晶格畸变都有可能。还要依据你的具体情况继续分析。
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