流（充）气正比计数器和闪烁计数器用于探测不同的元素，其中充气正比计数器一般是填充 Ar、Kr 等惰性气体；一定要注意此类计数器头部玻璃很容易破碎，不能碰撞；长期使用后，充气正比计数器头部容易吸附灰尘影响计数，应该定期清理。流气正比计数器是让探测器气体流动，一般是用1 μm~6 μm 厚的聚丙烯膜或聚脂膜做窗材，工作气体是 PR气（比例是 9：1 的氩 -甲烷混合气），如果在没有供应 PR 气的情况下使用流气正比计数器，检测器的窗口可能会破裂。所以，在使用流气正比计数器时一定要连续供气。
流气正比计数器的芯线上加有约 2 000 V 高压，PR 气以 40 ml/min~50 ml/min 的流量流过其周围，长期使用后，杂质就会附着在芯线上，造成计数器芯线的污染，从而影响正比计数器的能量分辨率，芯线污染后约 1 个月就开始出现分辨率下降，3 个月就会给分析带来误差，这时就必须对芯线进行清洗。新型的光谱仪都设有芯线自动清洗机构，可以在真空光路下很快地除去芯线上的杂质，使之恢复原有性能，得以稳定地进行轻元素的分析。而旧式的光谱仪没有芯线自动清洗机构，这时就要将流气正比计数器拆卸，用溶剂进行清洗。计数器芯线一般是一天走 5 mm，通常情况下使用 2 年就要更换。
探测器的电压一般是 2 000 V 左右，电子和离子的行为很大程度上决定于探测器所施加的电压，新仪器一般不会将电压加到最大，只有当仪器性能降低的时候才把电压加大。
探测器性能一般用波高分布曲线的半宽高来衡量，若半宽高增大则说明分辨能力下降，检测器品质变坏。
计数器还存在分辨率降低、老化的问题，如果测试曲线峰值向上漂移，则原因主要是芯线老化造成，这时可以调整LL、UL 值；如果测试曲线峰值变小，半幅宽增大，则很可能是计数器坏了，此时改变 HV已经不起作用，只能更换检测器了。
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