1.测量元素:Na—U;
2. X射线管:铑(Rh)靶/管电压50 kV /管电流1 mA;
3. X射线荧光检测器:SDD硅漂移检测器;
4.透过X射线检测器:NaI(Ti)晶体;
5. X射线导管:单毛细管10μm / 100μm无滤光片;
6.光学图像:样品整体光学像及共轴放大图像;
7.样品台尺寸:100 mm×100 mm(X×Y);
8.样品仓:全真空模式/最大真空300 mm×300 mm×80 mm;
9.样品尺寸:10μm2—10 cm2;
10.信号处理:数值脉冲处理器(INCA处理器)。