电荷转移器件（CTD，charge，transfer·devices）是新一代的光谱用光电转换器件。它是一类以半导体硅片为基材的光敏元件制成的多元阵列集成电路式焦平面检测器，已在原子发射光谱仪器中成功应用的有电荷耦合器件（charge coupled device，即CCD）及电荷注入器件（charge-injection device，即CID）。目前已逐渐取代光电倍增管在原子发射光谱中的应用。它的主要优点是可以一次曝光同时摄取从紫外光区至远红外光区的全部光谱。而光电倍增管则一次曝光只能摄取一条谱线。同时作为硅半导体器件，它比光电倍增管有更好的耐用性和小的体积等一系列特点。
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