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X射线光电子能谱仪的技术参数

2022.9.30
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coco5517

认真做好每一件喜欢的事，把每一件要做的事都变成喜欢并认真去做的事

　　指标信息： 主真空室：1×10-10 Torr XPS：0.5eV, AES: 分辨率：0.4%, 电子枪束斑：75nm , 灵敏度：1Mcps信噪比：大于70:1 角分辨：5°～90°. A1/Mg双阳极靶 能量分辨率：0.5eV ,灵敏度：255KCPS, 使用多通道检测器（MCD）

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