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入射电子在样品中受到大角度散射后反向射出背散射电子，这些背散射电子随后入射到一定的晶面，当满足布拉格衍射条件时，得到Bragg衍射花样。当电子束在样品表面做不同角度扫描时,电子束相对于某晶面的入射角在不断改变，同时由于晶面取向和其Bragg角的值都不同，因此可以获得一系列衍射信息图像。对所得背散射电子衍射图进行分析，可以确定晶体的取向，晶体间夹角，晶粒度及晶界类型，重位点阵晶界分布，织构分析以及相鉴定等。
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