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透射电镜edx能谱数据导出来后怎么分析

2023.2.02
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超级艾蛋木啊

致力于为分析测试行业奉献终身

测试出能谱后,对应的软件上有显示元素种类,该元素对应哪几个峰形。有时候会出现很多不知名的其他元素,这个时候要根据自己所测试物质所含元素的组成进行辨别。测试时,分为面扫和点扫,面扫对应SEM上显示的一个面中各元素含量,点扫则对应该点(实际上由于探针会飘动,所以也会收集到附近/周围点的元素情况)。收集的时间长短,决定了峰的强度大小,一般为了数据可靠,收集的时间要长一些。最后,EDX会给出以At%和wt%为单位的各元素数据,At%表示原子百分数,wt%表示质量百分数。根据wt%除以各种元素的相对原子质量,可以计算出物质的结构式。但是,EDX只是一个半定量的测试方法,结果还不够精确。想要获得更加精确的数值,可以用ICP(含金属的物质)。

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