工作原理
透射电镜和扫描电镜一样,利用聚焦电子束作为照明源,不同的是,透射电镜是以透射电子为成像信号,而扫描电镜是以二次电子、背散射电子等为成像信号(如下图所示)。
由于透射电镜样品需要很薄,大部分电子会穿透样品,其强度分布与所观察样品的形貌、组织、结构一一对应。透过样品后的电子束经物镜汇聚调焦和初级放大后,电子束进入下级的中间透镜和第1、第2投影镜进行综合放大成像,最终被放大的电子像投射在观察室内的荧光屏板供使用者观察。图像的明暗与样品的原子序数、电子密度、厚度等相关。
透射电镜按照加速电压分类,可分为低压透射电镜(<200KV),高压透射电镜(200~400KV)和超高压透射电镜(>400KV)。按照分辨率可分为低分辨率和高分辨率透射电镜。
为了方便对透射电镜与扫描电镜的结构比较,大家可参考下面这个简略图(其中,样品位置不同是很大的不同点)。
透射电镜和扫描电镜在分辨力和焦点深度等方面也是不同的(如下图所示)。