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关于透射电子显微镜的光阑的介绍

2022.9.30
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coco5517

认真做好每一件喜欢的事,把每一件要做的事都变成喜欢并认真去做的事

  为限制电子束的散射,更有效地利用近轴光线,消除球差、提高成像质量和反差 ,电镜光学通道上多处加有光阑,以遮挡旁轴光线及散射光。

  光阑有固定光阑和活动光阑2种,固定光阑为管状无磁金属物,嵌入透镜中心,操作者无法调整(如聚光镜固定光阑)。活动光阑是用长条状无磁性金属钼薄片制成,上面纵向等距离排列有几个大小不同的光阑孔,直径从数十到数百个微米不等,以供选择使用。活动光阑钼片被安装在调节手柄的前端,处于光路的中心,手柄端在镜体的外部。活动光阑手柄整体的中部,嵌有“O”形橡胶圈来隔离镜体内外部的真空。可供调节用的手柄上标有1、2、3、4号定位标记,号数越大,所选的就孔径越小。光阑孔要求很圆而且光滑,并能在 X、Y方向上的平面里做几何位置移动,使光阑孔精确地处于光路轴心。因此,活动光阑的调节手柄,应能让操作者在镜体外部方便地选择光阑孔径,调整、移动活动光阑在光路上的空间几何位置。

  电镜上常设3个活动光阑供操作者变换选用:

  ①聚光镜C2光阑,孔径约在20~200μm左右,用于改变照射孔径角,避免大面积照射对样品产生不必要的热损伤。光阑孔的变换会影响光束斑点的大小和照明亮度;

  ②物镜光阑,能显著改变成像反差。孔径约在10~100μm 左右,光阑孔越小,反差就越大,亮度和视场也越小(低倍观察时才能看到视场的变化)。若选择的物镜光阑孔径太小时,虽能提高影像反差,但会因电子线衍射增大而影响分辨能力,且易受到照射污染。如果真空油脂等非导电杂质沉积在上面,就可能在电子束的轰击下充放电,形成的小电场会干扰电子束成像,引起像散,所以物镜光阑孔径的选择也应适当;

  ③中间镜光阑,也称选区衍射光阑,孔径约在50~400μm左右,应用于衍射成像等特殊的观察之中。

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